往復真空泵靠活塞往復運動使泵腔（氣缸）的工作容積周期性地變化來抽氣的真空泵，又稱活塞真空泵。往復真空泵的結構與往復活塞壓縮機相似。工作時，吸氣管接被抽真空容器，排氣管直通大氣。往復真空泵抽氣量較大，抽氣速率范圍為每小時45～20000立方米，單級泵極限壓力約為103帕，雙級泵可達1帕。往復真空泵可用于真空蒸餾、真空濃縮、真空結晶、真空過濾、真空干燥和混凝土真空作業等。在泵的吸氣口處若安裝冷凝器，可抽除含水蒸汽的氣體；若安裝過濾器，則可抽除含塵氣體。
也可作為前級泵與羅茨真空泵組成羅茨往復真空泵機組
往復式真空泵(又稱活塞式真空泵)屬于低真空獲得設備，用以從內部壓力等于或低于一個大氣壓的容器中抽除氣體，被抽氣體的溫度一般不超過35C。往復泵的極限壓力，單級為4×10～10Pa，雙級可達1Pa。它的排氣量較大，抽速范圍15～5500L/S。往復泵多用于真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空結晶、真空過濾等方面抽除氣體。
往復式真空泵對于抽除腐蝕性或含有顆粒狀灰塵的氣體是不適用的。被抽氣體中如果含有灰塵，在泵的進口處必須加裝過濾器。
往復泵的工作原理，如圖2所示。泵的主要部件是氣缸1及在其中做往復直線運動的活寨2。活寨的驅動是用曲柄連桿機構3來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5。
泵運轉時，在電動機的驅動下，通過曲柄連桿機構的作用，使氣缸內的活塞做往復運動。當汪室在等舸內從存端向右端話動時。由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內氣體的密度減少，而形成抽氣過程，此時容器中的氣體經過吸氣閥5進入泵體左腔。當活塞達到最右位置時，氣缸內就完全充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥5關閉。氣缸內的氣體隨著活塞從右向左運動而逐漸被壓縮，當氣缸內氣體的壓強達到或稍大于一個大氣壓時，排氣閥4被打開，將氣體排到大氣中，完成一個工作循環。當活塞再自左向右運動時，又吸進一部分氣體，重復前一循環，如此反復下去，直到被抽容內的氣體壓力達到要求時為止。
在實際應用中，為了提高抽氣效率，泵多半采用雙作用氣缸，即活塞能在兩個方向(往復)上同時進行壓縮和抽氣，這主要是依靠配氣閥門來實現的。國產的w型往復泵即是單級的雙作用泵。
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